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 產(chǎn)品介紹：

C9000H直線電機驅動空氣軸承平臺在垂直表面和水平表面一并采用了有效的預加載處理。它可提供突出的高剛性，是重載和偏置負載應用的理想選擇。內置的直線伺服電機采用了零齒槽效應的無鐵芯結構，無吸引力，提供非常卓越的平滑運動。

性能指標：

行程范圍:  50 mm\ 100 mm\ 200 mm\ 300 mm\ 400 mm\ 500 mm  
驅動系統(tǒng):  直線伺服電機 (PAEKER-9000-A-668H)
反饋:  非接觸直線光柵尺
分辨率: 0.001 μm -0.2 μm  
最大行程速度:  3m/s (80 in/s)
最大直線加速度:  2 g -20 m/s2  (無負載)
最大負載:  55.0 kg
連續(xù)保持推力:  153.6 N
峰值推力:  742.8 N
全行程精度:   ±0.2 μm ~ ±20.0 μm   
重復定位精度:  ±0.1 μm~±0.3 μm 
直線度和平面度: 最大偏差  ±0.25 μm ~ ±2.0 μm
傾斜度/滾擺/偏擺: ±0.5 arc sec ~ ±5 arc sec 
空氣軸承工作壓力: 80 psi (5.5 bar) ±5 psig (0.3 bar)
空氣消耗量: <2 scfm
平臺質量: 120.7 kg ~ 156.5 kg